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슈퍼 크린룸의 정의

슈퍼 크린룸의 정의

클린룸이란 공기 중의 부유 미립자가 규정된 청정도 이하로 관리되고, 또한 그 공간에 공급되는 재료에 대해서도 요구되는 청정도가 유지되며, 필요에 따라서 온도/습도/압력 등의
환경조건 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다. 그 이외에 실내 기류 형상과 속도 / 유해가스 / 진동 / 실내 조도 등이 관리 항목으로 요구되고 있다.